为表彰长期从事真空领域教学、科研、开发、管理或生产并做出突出贡献的学会会员，经学会理事会2017年第二次会议讨论，决定设立“广东省真空科技终身成就奖”，颁发奖杯和奖金。首届“广东省真空科技终身成就奖”将在年底举办的2017年学会学术年会上颁发，拟授奖2名，奖金每人5000元。

    颁奖经费由肇庆市科润真空设备有限公司襄助。