为鼓励青年学者与研发工程师积极参加省真空学会学术年会并投稿，经学会理事会讨论，决定设立“广东省真空学会青年优秀论文奖”，颁发奖状和奖金。第三届“广东省真空学会青年优秀论文奖”将在年底举办的2017年学会学术年会上颁发，拟授奖6个。一等奖1个，奖金5000元，二等奖2个，奖金2750元，三等奖3个，奖金1500元。参评论文要求为全文，且未曾正式发表，中英文不限。

    颁奖经费由广东振华科技股份有限公司资助。