广东省真空学会是由广东省真空科技工作者组成的非营利性学术群众团体，成立于1994 年 12 月，在中国真空学会的指导和广东省科学技术协会的直接领导下开展工作。学会会员来自于广东省内外及港澳地区的真空科学与技术领域，由大专院校、研究院所和公司企业的科学家、工程师、技术人员和管理人员组成。自广东省真空学会成立以来，一直将服务社会、服务会员作为办会宗旨，积极开展学术交流和真空科技的普及和推广工作，是广东省内真空科技工作者学术交流、项目合作和技术服务的公共平台。

    学会成立初期，每两年召开一次学术交流会。自2003 年以来，根据省内真空产业的发展需要，改为每年召开一次学术年会，在省内各主要城市巡回举办。学术交流会的内容广泛，涉及真空机械、镀膜设备、半导体装备、真空电子技术、光电薄膜材料与器件、硬质涂层、微纳加工技术等领域。除邀请国内外知名专家做特邀报告、介绍真空新技术新工艺外，还积极开展会员内部的学术交流。近年来年会的学术和行业影响力大幅度提高，每年参会人员保持在 300 人左右，征集学术论文 50 余篇，会议论文集被中国工程技术图书馆馆藏和 CNKI 中国重要会议全文库收录。学会设立广东省真空科技青年优秀论文奖、广东省真空科技创新奖、广东省真空科技进步奖与广东省真空科技终身成就奖，颁发奖状、奖杯和奖金。自 2018 年起，学会承接政府转移职能，开展工程师专业技术资格认证、团体技术标准制定、科技成果评价与行业人才培训，收到良好社会效果。

    2016 年，以广东省真空学会骨干会员单位为基础，申请成立“广东省真空产业技术创新联盟”，获得广东省部省产学研结合协调领导小组办公室的批准并于2017 年成为建设示范联盟之一，在政产学研交流合作方面发挥了积极作用。联盟成员单位合作申报省市科技

项目，近年来获批财政科技经费上亿元，一批专家、教授以科技特派员、技术顾问、项目合作等形式进入企业，积极投身国民经济建设主战场。2021 年，获得中国科协“科创中国”新材料新能源区域科技服务团项目（第一批）立项支持。在 2019 年、2021 年广东省科协组织的省级学会评估中，被评为“四星级”学会。学会与联盟合署办公，理事长单位与学会秘书处均设在广州暨南大学理工学院。现有理事会员 165 名，团体会员单位 140 多家。