广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办，广州今泰科技股份有限公司承办的第六届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会学术年会于2022年9月22-24日在广州科学城成功举办。会议得到广东省“岭南科学论坛”项目、广州市“国际学术会议之都”项目的立项资助以及多个科技集团的大力支持。

    设真空装备与工艺、光电薄膜材料与器件、硬质涂层与表面工程、微纳制造专场，特邀中国工程院周克崧院士，李得天院士及10多位知名行业专家做大会报告，交流真空技术在电子信息、半导体器件、新能源开发、工模具涂层、微纳制造领域的最新应用进展。同期举办“先进微纳制造技术与前沿应用高峰论坛”和“微纳制造高层次专家研讨会”。参会代表为省内外大专院校、研究院所与公司企业的专家、学者与工程技术人员,是一次高水平高规格、产学研深度融合的学术盛会。

    大会特邀报告共12个。兰州空间技术物理研究所李得天院士报告题为“真空测试计量技术及其航天应用的现状与展望”，广东省科学院新材料研究所周克崧院士团队代明江教授报告题为“NiAl基高温防护涂层成分结构设计与演变”，南京大学孙安教授题为“第三代PVD微纳结构表面重塑技术最新进展与应用”，大连理工大学张振宇教授题为“精密超精密加工工艺与装备”，西安交通大学邵金友教授题为“微纳米结构压印制造原理、方法及应用”，中山大学陈军教授题为“ZnO纳米线冷阴极制备及其应用研究”，厦门大学王鸣生教授题为“基于TEM的纳米增材、减材、等材制造”，张峰教授题为“宽禁带半导体SiC功率器件研究进展及应用”，东北大学刘坤教授题为“面向新兴产业应用的真空环境稀薄气体动力学耦合分析技术”，中国科学院兰州化学物理研究所李红轩教授题为“航天高性能润滑薄膜研究与应用”，中微半导体设备（上海）股份有限公司张凯副总经理题为“半导体产业和半导体设备的市场动态”，爱发科（苏州）技术研究开发有限公司岳磊高级研究员题为“面向后MEMS2.0时代的高可靠性PZT压电薄膜量产技术”。大咖云集，精彩纷呈，受到与会代表的热捧。

华南理工大学李烈军教授主持访谈对话环节。华南理工大学姚若河教授，季华实验室胡琅研究员，广东工业大学王启民教授，广州今泰科技股份有限公司苏东艺董事长，中山凯旋真空科技股份有限公司高峰总经理，广东汇成真空科技股份有限公司罗志明董事长等6位专家和企业家受邀与参会人员交流互动，围绕“广东省真空产业的机遇和挑战”这一话题进行了深入的探讨。分享创新创业故事，直面国际形势考验，紧抓行业发展机遇，主动融入国家发展战略。

大会举办隆重年度颁奖典礼。北京大学深圳研究生院吴忠振副教授、博顿光电科技有限公司冀鸣总经理荣获第三届广东省真空科技创新奖；广东汇成真空科技股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司、广东腾胜科技创新有限公司、岭南师范学院、中山火炬职业技术学院、韩山师范学院等等14家单位获得第二届广东省真空科技进步奖；李波等7位作者获得第八届广东省真空科技青年优秀论文奖；吴宗旺等5位报告人获得年度青年优秀学术报告奖。

同期召开广东省真空学会第六届理事会全体会议，100多名学会理事参会。刘彭义理事长做2022年学会年度工作报告并介绍学会2023年工作计划，初步拟定在中山市举办2023年学术年会；唐振方秘书长做2021年学会财务报告，并就发展外籍外省会员等事项进行说明；常务理事、中山火炬职业技术学院装备智造学院王龙院长介绍光电制造产业专业群教育联盟的建设方案与工作构想；副理事长、季华实验室胡琅研究员介绍了广东省半导体装备及零部件学会的筹备情况。 

理事会议一致通过增补北京玖玖裕达机电科技有限公司王一帆总经理、青州市邦朋真空科技有限公司张伟总经理、温州驰诚真空机械有限公司赵中红董事长、华南理工大学肖舒副教授、金百辰智能科技（浙江）有限公司蒋建华董事长为学会理事的议案。经过本次增补，学会理事会共有理事171名，团体会员单位150多家。

会后，大会组织参会代表参观了广州今泰科技股份有限公司和广州方邦电子股份有限公司等单位。